[发明专利]层叠膜、有机电致发光装置、光电转换装置和液晶显示器

说明书

技术领域

本发明涉及层叠膜、有机电致发光装置、光电转换装置和液晶显示器。

背景技术

气体阻隔性膜可以适合用作适合于饮品和食品、化妆品、洗涤剂等物品的填充包装的包装用容器。近年来，提出了以塑料膜等作为基材，并将氧化硅、氮化硅、酸氮化硅、氧化铝等的薄膜层叠在基材的一个表面上而得到的具有气体阻隔性的层叠膜。例如，在专利文献1中公开了使用有机硅化合物的气体和氧气作为原料，并使用CVD法在塑料膜上形成薄膜层而得到的层叠膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-179102号公报

发明内容

发明所要解决的问题

但是，上述层叠膜在气体阻隔性方面还不是完全令人满意。

本发明是鉴于这样的情况而作出的，目的在于提供一种具有高气体阻隔性的层叠膜。另外，目的还在于提供一种具有该层叠膜的有机电致发光装置、光电转换装置和液晶显示器。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明的一个方式提供一种层叠膜，其具有基材和形成在所述基材的至少单侧的面上的至少一层薄膜层，

所述薄膜层中的至少一层薄膜层满足全部下述条件(i)～(iii)：

(i)所述薄膜层含有硅原子、氧原子、碳原子和氢原子；

(ii)分别表示所述薄膜层的厚度方向上的自所述薄膜层的表面起的距离与所述距离的位置的相对于所述薄膜层所包含的硅原子、氧原子和碳原子的合计量的硅原子的量的比率(硅的原子比)、氧原子的量的比率(氧的原子比)和碳原子的量的比率(碳的原子比)的关系的硅分布曲线、氧分布曲线和碳分布曲线中，所述硅分布曲线、所述氧分布曲线和所述碳分布曲线各自为连续的，且所述碳分布曲线具有至少一个极值，

(iii)将所述薄膜层假定为按照下述条件模型化的包含多层的层叠体时，最靠近基材侧的层A的密度X(g/cm³)与除层A以外的密度最高的层B的密度Y(g/cm³)满足下述式(1)所示的条件，

X<Y (1)；

模型化条件：

将一层的薄膜层假定为包含多层的层叠体模型，使各层内的密度和构成各层的原子的组成比恒定，设定各层的厚度、密度和元素的组成比使得分别符合以下的条件，设定层叠体模型使得：各层的厚度相对于层整体的厚度具有10％以上的厚度，由卢瑟福后向散射(160°)和氢前向散射(30°)得到的层叠膜的能谱的积分值与由层叠体模型计算的能谱的计算值各自落入5％以内的误差范围内。

在本发明的一个方式中，所述密度Y优选为1.34g/cm³～2.65g/cm³。

在本发明的一个方式中，所述密度Y优选为1.80g/cm³～2.65g/cm³。

在本发明的一个方式中，所述密度X优选为1.33g/cm³～2.62g/cm³。

本发明的一个方式提供一种有机电致发光装置，其具有上述的层叠膜。

本发明的一个方式提供一种光电转换装置，其具有上述的层叠膜。

本发明的一个方式提供一种液晶显示器，其具有上述的层叠膜。

发明效果

根据本发明，可以提供一种具有高气体阻隔性的层叠膜。另外，可以提供具有该层叠膜的有机电致发光装置、光电转换装置和液晶显示器。

附图说明

图1为表示本实施方式的层叠膜的一例的示意图。

图2为表示用于制造层叠膜的制造装置的一例的示意图。

图3为本实施方式的有机电致发光装置的侧面剖视图。

图4为本实施方式的光电转换装置的侧面剖视图。

图5为本实施方式的液晶显示器的侧面剖视图。

图6为表示由实施例1得到的层叠膜1的薄膜层的硅分布曲线、氧分布曲线和碳分布曲线的图。

图7为表示由比较例1得到的层叠膜2的薄膜层的硅分布曲线、氧分布曲线和碳分布曲线的图。

具体实施方式

[层叠膜]

本实施方式的层叠膜为上述的层叠膜。

以下，一边参照附图一边对本实施方式的层叠膜进行说明。需要说明的是，在以下全部的附图中，为了易于观察附图，各构成要素的尺寸、比率等会有适当变化。