[发明专利]玻璃层叠体、和电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃层叠体，包含：带树脂层的支撑基材，其具有支撑基材和在所述支撑基材上形成的聚酰亚胺树脂的层即第1聚酰亚胺树脂层；以及带树脂层的玻璃基板，其具有玻璃基板和在所述玻璃基板上形成的聚酰亚胺树脂的层即第2聚酰亚胺树脂层，

所述带树脂层的支撑基材和所述带树脂层的玻璃基板按照所述带树脂层的支撑基材中的所述第1聚酰亚胺树脂层与所述带树脂层的玻璃基板中的所述第2聚酰亚胺树脂层接触的方式进行层叠，

所述第1聚酰亚胺树脂层的与所述支撑基材侧处于相反侧的表面、及所述第2聚酰亚胺树脂层的与所述玻璃基板侧处于相反侧的表面的表面粗糙度Ra分别为2.0nm以下。

2.根据权利要求1所述的玻璃层叠体，其中，所述聚酰亚胺树脂包含下述式(1)所示的、具有四羧酸类的残基(X)和二胺类的残基(A)的重复单元，并且所述四羧酸类的残基(X)包含选自由下述式(X1)～(X4)所示的基团组成的组中的至少1种基团，所述二胺类的残基(A)包含选自由下述式(A1)～(A8)所示的基团组成的组中的至少1种基团，

式(1)中，X表示从四羧酸类去除羧基而得到的四羧酸残基，A表示从二胺类去除氨基而得到的二胺残基，

3.根据权利要求2所述的玻璃层叠体，其中，所述四羧酸类的残基(X)包含式(X1)所示的基团和式(X4)所示的基团中的至少一者，所述二胺类的残基(A)包含式(A1)所示的基团和式(A6)所示的基团中的至少一者。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述支撑基材为玻璃板。

5.一种电子器件的制造方法，其具备如下工序：

构件形成工序，在权利要求1～4中任一项所述的玻璃层叠体中的所述玻璃基板的表面上形成电子器件用构件，得到带电子器件用构件的层叠体；

分离工序，从所述带电子器件用构件的层叠体去除所述带树脂层的支撑基材，得到具有所述第2聚酰亚胺树脂层、所述玻璃基板和所述电子器件用构件的电子器件。