[发明专利]生产颗粒状多晶硅的方法有效
申请号: | 201480072665.1 | 申请日: | 2014-12-11 |
公开(公告)号: | CN105939964B | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | R·豪斯维特;R·恩格鲁贝尔 | 申请(专利权)人: | 瓦克化学股份公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 彭丽丹,过晓东 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 生产 颗粒状 多晶 方法 | ||
1.一种在流化床反应器中生产颗粒状多晶硅之后在处理颗粒状多晶硅中避免颗粒离析的方法,所述方法包括:在流化床中借助气流使硅颗粒流体化,所述流化床借助加热装置加热至850-1100℃的温度,加入含硅反应气体,并在硅颗粒上沉积硅,从流化床反应器排出颗粒状多晶硅,并在包装所述颗粒状多晶硅之前,其特征在于,利用针对漏斗流设计的锥形容器多次转移颗粒状多晶硅。
2.根据权利要求1所述的方法,其中至少一些所述容器包括由硅组成或用硅涂覆或用硅作内衬的填充分配器锥,所述填充分配器锥装配在容器的入口。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中至少一些所述容器包括排空漏斗、排空管或锥形斗,它们均由硅组成或用硅涂覆或用硅作内衬。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中在其上沉积硅以生产颗粒状多晶硅的硅颗粒是通过研磨硅生产的,并通过筛选进行分级,其中在生产硅颗粒与将硅颗粒送入反应器之间利用针对漏斗流设计的锥形容器多次转移硅颗粒。
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