[发明专利]通过斐索干涉术测量球形像散光学区域的方法有效
| 申请号： | 201480073553.8 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN105917190B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | S.舒尔特;F.希尔克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈钘;张邦帅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 干涉 测量 球形 散光 区域 方法 | ||
【说明书】：
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