[发明专利]用于在等离子体系统中使用的室组件的表面涂层在审
| 申请号： | 201480073572.0 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106414789A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 卡洛·瓦尔德弗里德 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/35;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 系统 使用 组件 表面 涂层 | ||
【说明书】：
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