[发明专利]太阳能电池单元和太阳能电池单元的制造方法有效
申请号: | 201480074059.3 | 申请日: | 2014-12-01 |
公开(公告)号: | CN105934828B | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 三田怜;渡部武纪;大塚宽之 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/0236;H01L31/0216;H01L31/18 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 单元 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池单元的制造方法,其包括:
将第二导电型层和防反射膜形成且层叠于第一导电型半导体基板上;
将含有导电性颗粒和玻璃粉的导电性糊剂涂布至所述防反射膜的规定位置;
将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板烧结;和
形成贯通所述防反射膜并且电连接至所述第二导电型层的电极,
其中在所述烧结之后即刻而不是回复至室温,将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板连续地进行加热处理,加热温度为300℃以上且500℃以下,加热时间是1秒以上且60秒以下。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法,其中所述防反射膜是通过将SiO2膜、Al2O3膜和SiN膜中任何一种或这些膜的任选的组合层叠而获得的膜。
3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池单元的制造方法,其中当在所述烧结之后即刻而不是回复至室温,将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板连续地进行加热处理时,从所述烧结至所述加热处理的过程在一个装置中连续地进行。
4.一种太阳能电池单元,其通过根据权利要求1至3任一项所述的制造方法来制造。
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