[发明专利]使用两个温度传感装置调整CVD反应器过程室内温度的设备和方法有效
| 申请号： | 201480074076.7 | 申请日： | 2014-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105934659B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | A.博伊德;P.S.劳弗;J.林德纳;H.席尔瓦;A.泰勒斯 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/60;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 两个 温度 传感 装置 调整 cvd 反应器 过程 室内 设备 方法 | ||
【说明书】：
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