[发明专利]辐射源有效
| 申请号： | 201480074178.9 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN105940349B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | M·F·A·厄尔林斯;N·A·J·M·克里曼斯;A·J·J·范迪杰西尔多克;R·M·霍夫斯特拉;O·F·J·努德曼;T·N·费姆;J·B·P·范斯库特;J-C·王;K·W·张 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21V7/09;G02B27/09;H05G2/00 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华;郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辐射源 | ||
【说明书】：
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