[发明专利]具有悬浮结构的半导体传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201480075003.X | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN105940295B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | A.萨马劳;A.法伊;G.奥布赖恩;G.亚马;F.普尔克尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 悬浮 结构 半导体 传感器 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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