[发明专利]溅射装置有效
| 申请号： | 201480075134.8 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN105980595B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 植木优也;若森保裕 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【说明书】：
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