[发明专利]光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构有效
| 申请号： | 201480077461.7 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN106415222B | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 洪健翔;叶展良 | 申请（专利权）人： | 台湾超微光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇;李有财 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光谱仪 波导 侧边 杂光 光谱仪组件 制造 错位现象 定位侧边 制造程序 硅晶圆 微机电 感度 噪音 | ||
【权利要求书】：
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