[发明专利]固持件、具有该固持件的载体以及用于固定基板的方法有效
| 申请号： | 201480077927.3 | 申请日： | 2014-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN106165056B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | A·布吕宁;O·海梅尔;R·欣特舒斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/687;C23C16/458;C23C14/50;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载体 | ||
【权利要求书】：
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