[发明专利]用于可旋转阴极的遮蔽装置、可旋转阴极以及用于遮蔽沉积设备中的暗空间的方法有效
| 申请号： | 201480078747.7 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN106463326B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | H·吴尔斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可旋转靶材 阴极 可旋转 遮蔽件 遮蔽装置 沉积设备 固定件 遮蔽 啮合 材料沉积 空间区域 基板 配置 膨胀 覆盖 | ||
【权利要求书】：
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