[发明专利]在阴极电弧物理气相沉积(PVD)中真空过滤宏观粒子的方法有效
| 申请号： | 201480078874.7 | 申请日： | 2014-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106460157B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | S·乌克哈诺娃 | 申请（专利权）人： | 亚鲁哥路爱尔吉巴有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 瑞士门*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 电弧 物理 沉积 pvd 真空 过滤 宏观 粒子 方法 | ||
【说明书】：
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