[发明专利]用于分离第一衬底的试样固持器，装置和方法有效

申请号：	201480079964.8	申请日：	2014-06-27
公开（公告）号：	CN106716615B	公开（公告）日：	2020-07-10
发明（设计）人：	埃里希·塔尔纳	申请（专利权）人：	埃里希·塔尔纳
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;B32B43/00;H01L21/683
代理公司：	中国专利代理(香港)有限公司 72001	代理人：	卢江;杜荔南
地址：	奥地利圣***	国省代码：	暂无信息
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	用于分离第一衬底试样固持器装置方法
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【权利要求书】：

1.一种用于通过连接层(3、3'、3、3'、3^IV)的脆化来将第一衬底（2）与第二衬底（4）分离的方法，其中所述第一衬底通过所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)与所述第二衬底（4）连接，其中所述脆化通过冷却到0℃之下的温度来进行，其中将用来冷却所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)的冷却流体（18）用于脆化，其中整个衬底堆叠(1、1'、1、1'、1^IV、1^V)被冷却，以便使所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)整面脆化，其中所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)由具有至少一个粘合剂层和至少一个分开层的多个层构成，其中在所述至少一个分开层的脆化临界温度之下，在所述至少一个分开层中形成裂缝，其中所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)的冷却在整面的脆化中形成仅穿过所述至少一个分开层的部分的裂缝。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述脆化通过冷却到-100℃之下的温度来进行。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述脆化通过冷却到-150℃之下的温度来进行。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)选自以下材料之一：

- 硅树脂，

- 塑料，或者

- 蜡。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述塑料是热塑性塑料或者热固性塑料。

6.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中所述连接层(3、3'、3、3'、3^IV)选自弹性体。

7.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中所述连接层(3、3'、3、3')选自以下材料中的一个或多个：

- 有机组分，

- 无机组分。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述有机组分是有机分子，所述无机组分是无机分子。