[发明专利]F-θ型光刻镜头有效
| 申请号： | 201480080209.1 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106471413B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 孙博;李家英;周朝明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518057 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 镜头 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大族激光科技产业集团股份有限公司，未经大族激光科技产业集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201480080209.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于测试聚光光伏模块的方法
- 下一篇：具有多层触敏表面的装置
