[发明专利]电扫描器及激光加工装置

说明书

电扫描器(1)具有：旋转体(26)，其具有旋转轴(3)；扫描反射镜(2)，其与旋转轴(3)的前侧的一端连结，使射入的光偏转；框架壳体(4)，其具有内部空间，该内部空间以旋转轴(3)成为旋转的中心轴的方式，可旋转地收容该旋转体(26)；前侧轴承(8)，其配置于内部空间(4a)的前侧的端部，是将旋转轴(3)可旋转地进行支撑的轴承；以及振动吸收部件(25)，其是由防振合金形成的筒状的部件，在与前侧轴承(8)的外周侧面(19)之间具有间隙的状态下，以内筒面(251)位于前侧轴承(8)的外周侧的方式而设置于框架壳体(4)，对伴随旋转体(26)的旋转而发生的前侧轴承(8)的振动进行吸收。

技术领域

本发明涉及一种电扫描器及激光加工装置。

背景技术

具有电扫描器的激光加工装置利用于印刷配线基板及精密电子部件等的开孔加工。随着成为产品的电路及电子部件的精细化的发展，要求激光加工装置对加工位置进行高精度的控制。

电扫描器在以相同间距重复加工位置的移动的情况下，当加工位置的移动频率与旋转体的固有振动数一致时，有时会向与反射镜的表面垂直的方向产生振动。与反射镜的表面垂直的方向的振动被称为面倾斜共振。由于产生面倾斜共振，来自反射镜的激光的行进方向变化，因此，在加工对象物上的激光的位置处产生误差。

在专利文献1中公开了下述技术，即，对于在轴和轴箱之间组装有圆柱滚子轴承的轴支撑装置，在轴承的外轮与轴箱之间设置吸收振动的部件。

专利文献1：日本特开2008-138779号公报

发明内容

电扫描器的旋转体有时受到由驱动引起的温度上升而发生热膨胀。为了能够吸收轴向上的旋转体的尺寸变化，设置在电扫描器中的轴承以相对于收容旋转体的框架壳体隔开少量间隙的方式配置。要求电扫描器能够吸收由旋转体的热膨胀引起的尺寸变化，并且能够减小使加工位置的精度恶化的振动。

近几年，为了实现高速驱动，在电扫描器中存在旋转体的驱动力变大的倾向。在电扫描器中，由于驱动力增大，不需要的振动的振幅也易于变大。电扫描器难以进行轴承周边的间隙的公差管理，以使得能够针对驱动力的增大而减小不需要的振动。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于能够减小面倾斜共振，实现高位置精度。

为了解决上述的课题、实现目的，本发明的特征在于，具有：旋转体，其具有旋转轴；反射镜，其与旋转轴的前侧的一端连结，使射入的光偏转；框架壳体，其具有内部空间，该内部空间以旋转轴成为旋转的中心轴的方式，可旋转地收容该旋转体；前侧轴承，其配置于内部空间的前侧的端部，是将旋转轴可旋转地进行支撑的轴承；以及振动吸收部件，其是由防振合金形成的筒状的部件，在与前侧轴承的外周侧面之间具有间隙的状态下，以内筒面位于前侧轴承的外周侧的方式而设置于框架壳体，对伴随旋转体的旋转而发生的前侧轴承的振动进行吸收。

发明的效果

本发明取得下述效果，即，能够减小面倾斜共振，实现高位置精度。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1涉及的电扫描器的结构的剖视图。

图2是表示不具有振动吸收部件的电扫描器的结构的剖视图。

图3是关于第1面倾斜共振的产生的说明图。

图4是表示第1面倾斜共振的频率与振幅之间的关系的例子的说明图。

图5是关于第2面倾斜共振的产生的说明图。

图6是表示第2面倾斜共振的频率与振幅之间的关系的例子的说明图。

图7是关于产生第1面倾斜共振及第2面倾斜共振的情况下的共振的频率与振幅之间的关系的说明图。