[发明专利]电容器及其生产工艺在审
| 申请号： | 201480081450.6 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN107077967A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 铃木祥一郎;掘露伊保龙;伴野晃一;奥利弗·G·施密特;丹尼尔·格林 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所;德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所 |
| 主分类号： | H01G4/015 | 分类号： | H01G4/015;H01G4/32;H01G4/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 王洵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容器 及其 生产工艺 | ||
1.一种卷起型电容器，包括防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层，其中，依次层叠有防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层的叠层卷起，使得上电极层在内侧，并且防扩散层通过原子层沉积法形成。
2.根据权利要求1所述的卷起型电容器，其中，所述防扩散层由氧化铝形成。
3.根据权利要求1或2所述的卷起型电容器，其中，所述防扩散层的厚度为5-10nm。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的卷起型电容器，其中，所述电介质层由钙钛矿型复合氧化物形成。
5.根据权利要求4所述的卷起型电容器，其中，所述钙钛矿型复合氧化物是钛-钙钛矿型复合氧化物。
6.根据权利要求4或5所述的卷起型电容器，其中，所述钙钛矿型复合氧化物是BaTiO3、SrTiO3、CaTiO3、(BaSr)TiO3、(BaCa)TiO3、(SrCa)TiO3、Ba(TiZr)O3、Sr(TiZr)O3、Ca(TiZr)O3、(BaSr)(TiZr)O3、(BaCa)(TiZr)O3或(SrCa)(TiZr)O3。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的卷起型电容器，其中，所述下电极层由铂形成，所述上电极层由铬形成，并且所述电介质层由钛-钙钛矿型复合氧化物形成。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的卷起型电容器，还包括在所述防扩散层和所述下电极层之间或在所述上电极层上的第二电介质层。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的卷起型电容器，还包括在所述电介质层和所述上电极层之间的界面层。
10.一种用于生产根据权利要求1所述的卷起型电容器的工艺，包括以下步骤：
在衬底上形成牺牲层；
通过使用原子层沉积方法在所述牺牲层上形成防扩散层；
在所述防扩散层上形成下电极层、电介质层和上电极层，以便获得叠层；和
通过去除所述牺牲层来卷起所述叠层。
11.根据权利要求10所述的工艺，还包括在所述防扩散层和所述下电极层之间形成粘附层的步骤。
12.根据权利要求10或11所述的工艺，还包括在所述电介质层和所述上电极层之间形成界面层的步骤。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所;德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所，未经株式会社村田制作所;德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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