[发明专利]再生循环器、高频电源装置、以及高频电力的再生方法

权利要求书

1.一种再生循环器，其从高频电源的高频放大电路与高频负载之间的传送路径上再生高频电力，其特征在于，

将所述再生循环器的输入端连接在所述传送路径上，

所述再生循环器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较，对于所述传送路径构成并联阻抗，

所述并联阻抗从连接位置单向取入高频电力进行再生。

2.根据权利要求1所述的再生循环器，其特征在于，

所述再生循环器的输入端在所述传送路径上的连接位置是相当于在所述传送路径上由于阻抗不匹配而产生的驻波的波腹部分的位置，

所述再生循环器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较，对于所述传送路径构成并联阻抗，

所述并联阻抗从所述连接位置单向取入高频电力进行再生。

3.根据权利要求1或2所述的再生循环器，其特征在于，

所述再生循环器的输入端在所述传送路径上的连接位置是从高频放大电路的输出端开始，在所述传送路径上所述高频电源输出的高频波的波长λ的4分之一波长λ/4的奇数倍的电气长度的位置，

所述再生循环器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较，对于所述传送路径构成并联阻抗，

所述并联阻抗从所述连接位置单向取入高频电力进行再生。

4.根据权利要求1或2所述的再生循环器，其特征在于，

具备从所述传送路径单向取入高频电力的方向性耦合器，

所述方向性耦合器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较从所述传送路径取入高频电力，

在再生动作中，将再生循环器的输入端的电压的上限限制为设定电压。

5.根据权利要求4所述的再生循环器，其特征在于，

所述方向性耦合器具备变量器，

所述变量器的匝数比是基于所述设定电压与再生循环器的输出端的电压之间的电压比的值。

6.根据权利要求5所述的再生循环器，其特征在于，

具备将所述变量器的交流输出变换为直流的整流器。

7.根据权利要求5或6所述的再生循环器，其特征在于，

在所述变量器的次级侧并联地具备电容器。

8.根据权利要求6所述的再生循环器，其特征在于，

在所述整流器的后级串联地具备直流电抗器。

9.一种高频电源装置，其特征在于，具备：

高频电源，其向高频负载供给高频电力；

再生循环器，其从所述高频电源具备的高频放大电路与高频负载之间的传送路径单向取入高频电力来进行再生，

将所述再生循环器的输入端连接在所述传送路径上，

所述再生循环器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较，对于所述传送路径构成并联阻抗，

所述并联阻抗从连接位置取入高频电力进行再生。

10.根据权利要求9所述的高频电源装置，其特征在于，

所述再生循环器的输入端在所述传送路径上的连接位置是相当于在所述传送路径上由于阻抗不匹配而产生的驻波的波腹部分的位置，

所述再生循环器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较，对于所述传送路径构成并联阻抗，

所述并联阻抗从所述连接位置取入高频电力进行再生。

11.根据权利要求9或10所述的高频电源装置，其特征在于，

所述再生循环器的输入端在所述传送路径上的连接位置是从高频放大电路的输出端开始，在所述传送路径上所述高频电源输出的高频波的波长λ的4分之一波长λ/4的奇数倍的电气长度的位置，

所述再生循环器基于再生循环器的输入端的电压与设定电压的比较，对于所述传送路径构成并联阻抗，

所述并联阻抗从所述连接位置单向取入高频电力进行再生。