[发明专利]扫描型探针显微镜

权利要求书

1.一种扫描型探针显微镜，具备主体部与控制部，

所述主体部具有：样品载置台，载置有样品；悬臂，在自由端部具有探针；传感器，检测所述悬臂的自由端部的位移；XYZ驱动机构，使所述悬臂或者样品在XYZ方向上移动；除振机构，用于除去振动，

所述控制部对所述XYZ驱动机构进行控制并且获取所述样品的测量范围的表面信息，

所述扫描型探针显微镜具备：无线支架，具有供电线圈与支架侧收发部；电源信号缆线，连接所述无线支架与所述控制部，

所述主体部具有：高电压发生电路，生成用于驱动所述XYZ驱动机构的高电压信号；受电线圈，用于被从所述供电线圈供电；主体部侧收发部，用于与所述支架侧收发部通信。

2.如权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，如果所述控制部没有从所述主体部侧收发部接收到信号，则断开所述供电线圈。

3.如权利要求1或2所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，具有显示灯或者显示器，显示所述供电线圈与所述受电线圈的供电状态。

4.如权利要求1或2所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，所述XYZ驱动机构为压电元件。