[其他]具有非对称褶皱的锯线

说明书

技术领域

本实用新型的一个或多个实施例涉及具有非对称褶皱的锯线，并且更具体地，涉及具有非对称褶皱的锯线，该锯线增强切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

背景技术

通常，在锯机中使用的锯线在该锯线连同切割材料移动并以合适的压力接触待切割的材料来对待切割的材料进行切割，在切割材料中，诸如碳化硅粉末、金刚石粉末等的研磨颗粒与油等混合。

使用锯线切割诸如硅块之类的硬质材料的方法如下：锯线沿着多个辊中的多个槽卷绕，并且成排的锯线被驱动以将特定的力施加到硅块或待切割的材料。在该阶段，在成排的锯线和待切割的材料之间供应研磨颗粒以由于研磨颗粒的切割效应而将硅块切割成晶片。切割过程的效率和晶片的厚度品质取决于若干因素，诸如经受切割的硬质材料的特性和锯线的速度。这些因素中最重要的因素是切割材料的量，切割材料可被包括在锯线中。

用于切割硅块的每排锯线被常规地卷绕在辊上1000至3000次。该线沿着辊上制备的槽移动以切割硬质材料，并且当硬质材料被切割时，切割材料不仅研磨硬质材料并且研磨锯线，而且减小锯线的厚度，这是成问题的。在切割开始时，大量切割材料可能伴随有存在于锯线表面上的软质材料镀层；然而，由于镀层在硬质材料被切割时被移除，基层被露出并且包括切割材料的能力减弱。

因此，有必要提高在锯线使用时包括切割材料的能力。在国际专利申请WO90/12670中，提供一种锯线，该锯线良好地伴随切割材料。该特点通过改变锯线的外表面被实现。根据该专利申请的实施例，许多微腔位于锯线的表面上。而且，根据该专利申请的另一实施例，锯线沿圆周方向具有多个槽。这些方案可提高包括切割材料的能力；然而，改变锯线的外表面通常是昂贵的和耗时的。

实用新型内容

本实用新型的一个或多个实施例包括通过提供具有非对称褶皱的锯线解决上述问题，该锯线提高切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料的切割表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

根据本实用新型的一个或多个实施例，具有非对称褶皱的锯线包括其上形成有连续褶皱的锯线，其中以锯齿形形状连续形成的非对称单元褶皱包括第一部分和第二部分，所述第二部分从所述第一部分弯曲并延伸且具有比所述第一部分的长度长的长度，同时所述第一部分与所述第二部分的长度比是1:1.2至1:4。

根据本实用新型的一个或多个实施例，可取的是，所述第一部分的斜度大于所述第二部分的斜度。

根据本实用新型的一个或多个实施例，可取的是，所述单元褶皱被形成为当所述单元褶皱沿所述锯线的纵向方向移动时沿一个方向旋转。

另外的方面将部分在以下说明书中陈述，部分将由说明书变明显，或者可通过实践所提出的实施例而被得知。

根据本实用新型的一个或多个上述实施例，具有非对称褶皱的锯线可提高切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料的切割表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

附图说明

由于结合附图对实施例进行的以下描述，这些和/或其它方面将变得明显且更易于理解，在附图中：

图1是根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线的侧视图；

图2是从图1中选择的主要部分的放大视图；

图3是例示当图1中的锯线被使用时包括切割材料的图；和

图4是例示根据本实用新型的另一实施例的具有非对称褶皱的锯线的斜视图的概念图。

具体实施方式

现在将详细参照实施例，其示例在附图中例示，其中相同的附图标记始终指代相同的元件。在这点上，本实施例可具有不同的形式，并且不应当被解释为局限于在此陈述的说明书。因此，在下面仅通过参照附图描述实施例，以解释本说明书的方面。

本实用新型涉及在线锯机中使用的锯线。该锯线被用于切割半导体、陶瓷、超硬合金等并将半导体、陶瓷、超硬合金等切成片。

图1是根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线100的侧视图，图2是从图1中选择的主要部分的放大视图，图3是例示当图1中的锯线被使用时包括切割材料的图。

参见图1和图2，根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线100具有连续且非对称地形成在其中的单元褶皱10。