[其他]真空系统管耦接装置和真空系统

权利要求书

1.一种真空系统管耦接装置，包括：

第一耦接构件；

第二耦接构件；

密封系统，其待定位在所述第一耦接构件和所述第二耦接构件之间，以在所述耦接构件之间进行密封；以及

固定系统，其将所述第一耦接构件可释放地固定至所述第二耦接构件，

所述密封系统包括内密封元件和外密封元件，并且所述第一耦接构件设有流道，所述流道配置成将加压气体引导至在使用中被设置在所述内密封元件和所述外密封元件之间的空间，以在所述内密封元件失效的情况下，为所述外密封元件屏蔽流过所述管耦接装置的流体。

2.如权利要求1所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述内密封元件和所述外密封元件被间隔件分隔，所述间隔件配置成被接收在所述空间中。

3.如权利要求2所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述间隔件与所述内密封元件和所述外密封元件中的至少一个是一体的。

4.如权利要求2或3所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述内密封元件具有宽度，所述外密封元件具有宽度，并且所述间隔件包括具有如下宽度的至少一部分，即：所述宽度小于所述内密封元件和所述外密封元件的相应的所述宽度。

5.如权利要求2或3所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第二耦接构件设有流道，并且所述间隔件设有至少一个通孔，所述至少一个通孔配置成允许来自所述第一耦接构件的所述流道的加压气体流动到所述第二耦接构件的所述流道。

6.如权利要求5所述的真空系统管耦接装置，包括：第一管，其待连接至所述第一耦接构件的所述流道的入口端；限流器和第一传感器，其待与所述第一管连接，使得所述第一传感器能够提供指示在所述限流器的上游的所述第一管中流动的加压气体的压力的信号；第二管，其待与所述第二耦接构件的所述流道的出口端连接；第二传感器，其待与所述第二管连接，以提供指示在所述第二管中流动的所述加压气体的压力的信号；以及确定单元，其接收所述信号，并且基于从所述第一传感器和所述第二传感器接收的相应的所述密封的比较，来确定密封系统状态。

7.如权利要求1所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述外密封元件包括第一材料，并且所述内密封元件包括不同于所述第一材料的第二材料。

8.如权利要求7所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第一材料比所述第二材料具有更好的压缩永久变形特性。

9.如权利要求7或8所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第二材料满足以下各项中的至少一项：

i）所述第二材料比所述第一材料具有更好的高温稳定性；以及

ii）所述第二材料比所述第一材料具有更好的对化学腐蚀的耐性。

10.如权利要求7或8所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第一材料是氟橡胶。

11.如权利要求7所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第二材料是全氟橡胶。

12.如权利要求7所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述内密封元件包括衬底，并且所述第二材料被承载在所述衬底上。

13.如权利要求7所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料中的至少一个具有60至80的肖氏硬度。

14.如权利要求1所述的真空系统管耦接装置，其特征在于，所述第一耦接构件包括具有第一密封表面的第一凸缘，所述第二耦接构件包括具有第二密封表面的第二凸缘，并且在使用中，所述密封系统被设置在所述第一密封表面和所述第二密封表面之间并且与二者接合，所述空间被限定在所述第一密封表面和所述第二密封表面以及所述内密封元件和所述外密封元件之间。