[发明专利]晶体生长炉电源用水循环装置

说明书

技术领域

本发明涉及到一种晶体生长炉电源用水循环装置，可应用于晶体生长炉电源等可靠性要求高、需要长时间提供水冷却的各种电源设备。

背景技术

目前所使用的晶体生长炉电源用水循环装置，通常使用外循环水直接通入电源内部进行冷却，这种冷却方式受水质、水的温度影响较大。因电源内部结构限制水路管径较小，在使用外循环水的水质较差的情况下，容易在电源内部的水路内结垢导致堵塞影响电源的散热；因电源内部大多使用水冷的铝散热器或水冷的铜排，在使用外循环水温度较低的情况下，则容易产生结露的现象影响电源的绝缘。另外晶体生长炉电源是需要长时间高精度稳定运行的设备，这种直接使用外循环水进行冷却的方式受到的制约条件较多很难满足长时间稳定工作的要求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种能针对晶体生长炉内结构，采用不同的冷却系统的晶体生长炉电源用水循环装置。

为解决上述问题，本发明采用的技术方案是：晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置、外循环水冷却装置、热交换装置，所述内循环纯水冷却装置的水路与热交换装置的容水器组成水路的联通器，在热交换装置的容水器内部设置有外循环水冷却装置的冷凝器，冷凝器的水路与热交换装置的容水器是相互隔离的；晶体炉电源的内部水路、内循环纯水冷却装置、热交换装置的容水器构成一个封闭的内循环纯水系统，外循环水冷却装置的水路自身为一个封闭的外循环水系统；晶体炉电源工作时产生的热量由内循环纯水系统带至热交换装置的容水器内，容水器内的热量再由设置在容水器内的外循环水冷却装置的冷凝器通过流经冷凝器的水将热量带至外循环冷却系统进行冷却。

在热交换装置的出水口与晶体生长炉电源的进水口的水路上设置有水泵、流量调节阀、电接点压力表，热交换装置的进水口与晶体长长炉电源的出水口的水路上设置有电磁阀；在晶体炉生长炉电源的进水口设置有旁路与外循环水冷却装置的回水口连通，在该旁路上设置有2个电磁阀；在晶体炉生长炉电源的回水口设置有旁路与外循环水冷却装置的进水口连通，在该旁路上设置有1个电磁阀。

系统监测到系统故障时，可自动切换电磁阀，内循环纯水装置应急打开旁路，晶体生长炉电源的冷却改由外循环水装置进行冷却，故障排除后给出复位信号自动切换电磁阀，重新恢复内循环水冷却装置的工作。

热交换装置的冷凝器为多组直铜管焊接在上部法兰盖和下部法兰座之间；热交换装置的容水器设置有加纯净水的加水口和放水口。

本发明的有益效果是：上述结构的晶体生长炉电源用水循环装置将电源使用的水循环分成了内循环纯水系统和外循环冷却系统两个相互隔离的水系统，对水质要求高的晶体生长炉电源使用纯水作为水循环的介质，对水质要求不高的外循环装置使用普通的工业用水，从而降低了使用成本和设备水循环故障率。

附图说明

图1是本发明所述晶体生长炉电源用水循环装置的水路原理图；

图2是本发明所述晶体生长炉电源用水循环装置的正视外形图；

图3是本发明所述晶体生长炉电源用水循环装置的侧视外形图；

图4是本发明所述晶体生长炉电源用水循环装置的俯视外形图；

图5是本发明所述晶体生长炉电源用水循环装置的冷凝器结构示意图；

图6是图5是俯视结构示意图；

图中：1、内循环纯水冷却装置，111、内循环纯水装置的进水口，112、内循环纯水装置的出水口，12、水路，13、电接点压力表，2、热交换装置，211、热交换装置的出水口，212、内循环纯水装置的旁路进水口，213、内循环纯水装置的旁路出水口，214、热交换装置的进水口，215、外循环水冷却装置的旁路进水口，217、外循环水冷却装置的回水口，22、冷凝器，23、容水器，24、水泵，25、流量调节阀，261、262、263、264、电磁阀，271、电接点温度液位计，281、加水口，282、放水口，283、上部法兰盖，284、下部法兰座，3、外循环水冷却装置。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本发明所述的晶体生长炉电源用水循环装置作进一步的详细描述。