[发明专利]一种无尘车间内空气分析方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种无尘车间内空气分析方法及系统。

背景技术

现有半导体无尘车间内，需要对空气进行过滤净化，但目前缺乏有效的空气分析，往往使得空气中SO4含量超标，会导致产品良率降低。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，解决上述现有技术中无尘车间空气过滤缺少配套分析使得产品良率降低的问题。

为实现上述目标及其他相关目标，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法，所述无尘车间内设有过滤器，所述方法包括：在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。

可选的，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括：在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。

可选的，所述元素包括SO4。

为实现上述目标及其他相关目标，本发明提供一种无尘车间内空气分析系统，所述无尘车间内设有过滤器，所述系统包括：多个空气采样装置，分别设置于所述无尘车间内所预设的多个采样点处，用于进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；元素分析设备，用于对所采样空气样本进行元素分析，并对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。

可选的，所述空气采样装置包括采样管。

可选的，所述采样管长度为100m。

可选的，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括：在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。

可选的，所述元素包括SO4。

如上所述，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理；本发明保证产线内空气中SO4情况被管理，以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。

附图说明

图1显示为本发明的无尘车间内空气分析方法的一实施例的流程示意图。

图2显示为本发明的无尘车间内空气分析系统的一实施例的结构示意图。

元件标号说明：

1-无尘车间；

2-过滤器；

3-空气分析系统；

31-空气采样装置；

32-元素分析设备；

S1~S4-方法步骤。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图1所示，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法，无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点：对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器；空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高效过滤器三级过滤器；中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。所述无尘车间可以是电子半导体制备及封装作业的用途，里面设有半导体制造的产线。

所述方法包括：

步骤S1：在所述无尘车间内设置多个采样点；在一实施例中，各个采样点覆盖整个车间产线；

步骤S2：在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器（MAU）的过滤出口之前和之后的采样；

步骤S3：提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析；