[发明专利]一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头

权利要求书

1.一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其特征是：从物面沿光轴方向开始，共有8块镜片，依次为L1～L8；其中物面到光阑之间有4块镜片，光阑到像面之间有4块镜片；所述8块镜片中，L1、L4、L5为负透镜，其余为正透镜；

实际镜片参数和镜片中心距参数如下表格所示：

半径 中心距 玻璃材料 物面 50.000000 1 -864.509195 29.998672 熔石英 2 157.862131 40.000000 3 -199.203436 34.641077 熔石英 4 -151.151656 0.199795 5 268.823789 42.072879 熔石英 6 -217.431443 358.782672 7 58.012704 35.550495 熔石英 8 41.164737 14.383094 光阑 15.000000 9 -113.861399 70.000069 熔石英 10 -230.600400 80.339292 11 -368.040727 46.771272 熔石英 12 -132.138493 2.000000 13 1711.117782 36.722979 熔石英 14 -516.244800 363.490950 15 1558.205060 30.089739 熔石英 16 -611.292037 249.957038 像面 。