[发明专利]一种安全的金属薄膜蒸镀方法有效
申请号: | 201510005459.5 | 申请日: | 2015-01-07 |
公开(公告)号: | CN104532193B | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 黄渭国;姚春平 | 申请(专利权)人: | 六和电子(江西)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 336000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 安全 金属 薄膜 方法 | ||
1.一种安全的金属薄膜蒸镀方法,包括以下步骤;
步骤一:将被镀有机薄膜基材装在真空蒸镀机中,用真空泵抽出真空;
步骤二:加热铝合金熔化槽使得锌铝合金在高温条件下溶化并蒸发气态;
步骤三:气态锌铝微粒在经卷绕机滚轮作用下而移动的被镀有机薄膜基材的表面上沉积、冷却还原,所述气态锌铝微粒按一定大小区域间断式蒸镀在有机薄膜基材上,每个区域横向间是独立的,纵向用一条窄镀层与公共区连接;
其特征在于:所述蒸镀时在每个区域横向增加一条安全线,并且每个区域之间的安全线采用非水平布置,所述被镀有机薄膜基材在被气态锌铝微粒蒸镀之前还包括经过油脂涂抹准确屏蔽非蒸镀区的步骤,所述油脂涂抹准确屏蔽非蒸镀区的方法为:采用油屏滚轮外圆加工出油沟槽的方式,使屏蔽油按照油屏滚轮表面加工好的沟槽均匀准确的涂覆在经过油屏滚轮表面的有机薄膜上,油屏滚轮一端有进油孔,进油和表面出油槽内部相连通,油品滚轮表面设计的沟槽按横向安全线高低错开分布。
2.根据权利要求1所述的蒸镀方法,其特征在于:所述被镀有机薄膜基材为圆筒状。
3.根据权利要求2所述的蒸镀方法,其特征在于:所述真空度为1.3×10-2~1.3×10-3Pa。
4.根据权利要求3所述的蒸镀方法,其特征在于:所述铝合金熔化槽加热温度为1200°C -1400°C。
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