[发明专利]在ATE载荷板上用于RF智能自匹配的集成RF MEMS

说明书

本申请涉及在ATE载荷板上用于RF智能自匹配的集成RF MEMS。一种在测试设备中用于实现自动RF端口测试的方法，该方法包括：将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；以及针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚。该方法进一步包括在所述被测设备上实现RF端口测试过程。

技术领域

本发明一般涉及计算机系统测试设备。

背景技术

RF设备持续保持具有多带、多标准以及经常在单个设备上具有多于20个RF端口的高度集成化。当前使用传统手动方式来匹配这样的设备所需的时间可能是两周或三周。将此与今天的ATE大规模并行测试能力(x4、x8、甚至x16)相结合，适当地匹配遍及多个站点的大约80个或更多的RF端口所需的时间能够轻松地超过几周。

RF匹配在过去的几十年中基本保持不变。工程师通常采用将各个LC组件放置或转移到载荷板上的反复的、手动的、时间密集的方式。在每次反复后，采用VNA来测量新的匹配。重复该过程直到找到最佳匹配(通常接近50欧姆)。该方法完全不能缩放以实现满足现代工业生产过程的需求。

因此存在对于下一代自动化高速测试的需求。还存在对于能够提供空前的测试时间和测试成本降低的技术的需求。

发明内容

在测试设备中，一种用于实现自动RF端口测试的方法，该方法包括：将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；以及针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚。该方法进一步包括在所述被测设备上实现RF端口测试过程。

在一个实施例中，所述测试设备包括RF电子设备。

在一个实施例中，多个RF电子设备被同时测试。

在一个实施例中，所述载荷板进一步包括RF MEMS阻抗匹配设备。

在一个实施例中，其中所述多个RF端口的所述动态调谐是软件控制和配置的。

在一个实施例中，所述载荷板进一步包括具有可调谐阻抗匹配电路的RF MEMS阻抗匹配设备。

在一个实施例中，所述载荷板进一步包括以CMOS RF MEMS阻抗匹配结构实现的可编程电容元件。

在一个实施例中，本发明被实现为一种具有计算机可读代码的非暂态计算机可读存储器，所述代码在由计算机系统执行时使得所述计算机系统实现一种用于实现自动RF端口测试的方法，所述方法包括：将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；以及针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚。所述方法进一步包括在所述被测设备上实现RF端口测试过程。

以上是一个总结，因此不可避免地包括细节的简化、一般化以及省略；因此，本领域的技术人员将会理解该总结只是示意性的，并且不意为以任何方式来进行限制。如权利要求所唯一限定的那样，本发明的其他方面、创造性特征、以及优势将在下面给出的非限制性具体描述中明显示出。

附图说明

本发明以附图中的示例的方式进行说明，而不是以限制的方式进行说明，在附图中，相似标号指示相似元件。

图1示出了说明本发明的实施例所使用的无线标准的速度/距离覆盖的图。

图2示出了根据本发明的一个实施例的RF MEMS电路的功能框图。

图3示出了根据本发明的一个实施例的RF MEMS电路设备的原理框图。

图4示出了根据本发明的一个实施例的标准化目标电容的表征结果图。

图5示出了根据本发明的一个实施例的集成到长板上的RF MEMS设备的图。