[发明专利]一种防爆外点火装置

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备技术，特别是涉及一种防爆外点火装置。

背景技术

在半导体立式热处理设备中，有一个外点火装置与工艺腔室相连，工艺气体从外点火装置中的进气管进入主工艺腔室，外点火装置中有加热器将工艺气体加热以及进行一定的反应，外点火装置的腔室与工艺腔室通过过渡管相连。

现有的防爆外点火装置利用石英点火枪进行点火，在石英点火枪与石英点火腔室之间设置加热器，为石英点火腔室提供热量，石英点火腔室在进行工艺操作时，散热量很大，一旦出现石英件爆裂会对人身造成严重伤害。因此，业界亟需提供一种防爆外点火装置以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在上述缺陷，提供了一种防爆外点火装置,克服石英点火腔室进行工艺操作时因散热量过大而出现爆裂，并对周围人身财产造成伤害的现象。

为解决上述问题，本发明提供一种防爆外点火装置，包括石英点火腔室、石英点火枪以及加热器；所述石英点火腔室安装在固定底座上并与所述石英点火枪连接，所述加热器设置在所述石英点火腔室和石英点火枪之间为所述石英点火腔室提供热量，所述石英点火腔室外部设置有防爆罩体，所述防爆罩体内盛有用于冷却所述石英点火腔室的冷却液，且其外侧设有与其相连通的冷却水循环系统；其中，所述防爆罩体包括有内罩体和外罩体，所述内罩体和所述外罩体之间形成的空腔填充有高分子吸能材料。

优选的，所述的高分子吸能材料包括聚酯型成型主料、低密度膨胀型颗粒材料、固化剂以及阻燃剂。

优选的，所述罩体包括上罩体和下罩体，所述上罩体以及下罩体采用合页式翻盖连接。

优选的，所述冷却水循环系统包括：设置在下罩体底部的进水口、设置在上罩体顶部的出水口以及连接所述进水口以及出水口的水循环软管，所述水循环软管上设有用于冷却水循环软管内液体的冷却器，所述水循环软管将下罩体内的液体引入上罩体。

优选的，所述水循环软管为软态波纹管式软管。

优选的，所述上罩体与下罩体的连接处设置有限位挡片，以限制所述上罩体打开的角度。

优选的，所述防爆罩体上设置温度传感器，以实时检测所述防爆罩体的温度。

优选的，所述温度传感器连接预警器，当所述防爆罩体的温度超越预设温度值时启动预警器。

优选的，所述石英点火腔室和石英点火枪分别通过调节支架安装在固定底座上。

优选的，所述调节支架为三维调节支架。

上述技术方案所提供的防爆外点火装置，在现有的外点火装置上加装了复合结构的防爆罩体以及冷却水循环系统，能够有效减少点火工艺时石英点火腔室热量的散发，同时也起到了防爆护罩的作用，可以减少对人身的伤害和对周围环境的影响；另外，在石英点火腔室、加热器与固定底座之间安装了三维调节支架，可以使此装置进行上下左右的细微调节，能很好的和外围设备进行对接。

附图说明

结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：

图1是本发明实施例的防爆外点火装置的立体结构示意图；

图2是本发明实施例的防爆外点火装置的主视图；

图3是本发明实施例的防爆外点火装置的侧视图。

[图中附图标记]：

10、固定底座；20、调节支架；30、加热器；40、防爆罩体；50、石英点火枪；60、石英点火腔室；70、温度传感器；80、进水口；90、水循环软管；100、出水口；110、限位挡片；120、冷却器。

具体实施方式

为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。

需要说明的是，在下述的实施例中，利用图1～图3的示意图对按本发明的防爆外点火装置进行了详细的表述。在详述本发明的实施方式时，为了便于说明，各示意图不依照一般比例绘制并进行了局部放大及省略处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定。