[发明专利]一种晶硅太阳能电池片料架传输线的阻挡机构在审
申请号: | 201510009628.2 | 申请日: | 2015-01-08 |
公开(公告)号: | CN104617024A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 李广旭;张恒峰;赵文斌;李补忠;王广明 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 陶金龙;张磊 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 片料架 传输线 阻挡 机构 | ||
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能自动系统的物流传输技术领域,更具体地,涉及一种晶硅太阳能电池片料架传输线的阻挡机构,可对晶硅太阳能电池片料架传输线上的料架进行阻挡。
背景技术
随着地球温室效应的日益严重,石油、天然气、煤炭等资源的日益枯竭,环保节能已成为世界发展的主题。太阳能作为一种储量无限、清洁、安全的可再生能源,是全球新能源的发展方向。在国家新型能源和可再生能源产业政策的指导下、以及欧美太阳能市场强劲需求的带动下,近年来国内太阳能光伏产业得到了飞速发展。目前,中国已经成为太阳能电池制造大国,拥有全球最多的太阳能电池生产厂家和一半以上的产能。
太阳能光伏产业的快速发展也促进了国内太阳能光伏制造装备产业的蓬勃发展。太阳能电池行业发展的早期,太阳能电池片制造企业并未对自动化生产线产生需求,生产线基本上是由孤立的半自动、自动化设备拼凑而成。随着全球太阳能光伏产业的爆炸式增长,为了使太阳能领域单位发电成本降低到与常规发电成本相当,太阳能电池片制造商会越来越迫切要求使用高集成、高度自动化的生产线。未来,自动化程度的高低在一定层面上将会决定谁才是生产成本最低的制造商,并且经过精心设计且高效运转的自动化工厂系统可以简单地复制到随后的工厂中,并迅速开始盈利。顺应太阳能光伏行业的发展需求,国外太阳能电池片生产设备正由半自动化向全自动化、智能化过渡,以便提高生产效率和产品质量,降低生产成本。
晶硅太阳能电池片生产线各个工艺单元之间的硅片传输,一般以堆迭式或卡槽式两种方式装载硅片。
请参阅图1,图1是现有的一种卡槽式料架的结构示意图。如图1所示,该卡槽式料架为整体箱式框架结构。料架101设有开口方框形底板103,其框形开口侧的料架对应面为开口面,料架101内部沿上下方向设有多个水平卡槽,可将硅片102从料架的开口面依次插入卡槽进行装载。底板的具体结构请参阅图2,图2是图1的料架底板的平面结构示意图。如图2所示,底板的形状为开口方框形,具有二个长度为H1的平行侧边103-1和一个宽度为H2的与侧边103-1垂直的底边103-2。
以往,由于晶硅太阳能电池生产线发展的初期并没有考虑全自动化生产,因而不具备各种自动化接口,不存在将各工艺单元能够连接起来自动传输的物料传输系统,也不存在适应这一生产过程的自动化搬运方法。因此,在将硅片装入上述的料架后,是采用小车以人工方式进行搬运的。这种方式效率低,不利于大规模生产。为了实现全自动化大规模生产,各工艺单元之间的硅片传输必须采用自动传输系统实现。
目前,在晶硅太阳能电池片生产线的各个工艺单元之间,已开始采用传输线进行电池硅片的自动化传输。
公布号为CN 103662597 A的中国发明专利申请公开了一种料架传送机,通过由两根平行型材和端头座组成传送架,沿型材上方设有二个同步传送带,由驱动组件驱动传送带移动,实现对传送带上装载的料架进行平稳传输。
该专利申请公开的料架传送机可用作自动传输线,并可与其他设备的接口对接。还可利用多个料架传送机首尾相接,组成不同需求长度的自动传输线。上述图1中的料架可一个个地同以其底板框形开口向前、向后或横向方式跨设在二个同步传送带上依次进行传输。
晶硅太阳能电池片生产线各个工艺单元的生产是连续进行的,在传输线上会同时运载有多个料架。在将料架向工艺设备传输时,是一个一个地向工艺设备进行装载的。当前一个料架处于装载状态时,需要给与处在同一传输线上的后一个料架(包括其后面的其他料架)适当的等待时间。因此,在料架的传输过程中,为了保证料架传输过程的有序、稳定,在不影响整个传输系统的情况下(即传送带仍处于运转条件下),针对等待状态的料架,在传输过程中需要适时地被阻停。
然而,上述专利申请公开的料架传送机并不具备针对不同料架的区别阻停功能,无法在传送带运转条件下,使前一个料架在移动的同时,对后一个料架(包括其后面的其他料架)单独进行阻挡,只能是所有料架要么同时前移、要么同时停止(通过停止传送带的运转)。因而,当发生需要对前一个料架向工艺设备进行装载时,其所在传输线上就不能同时运载其他的料架,这样就严重降低了传输线的效率。
因此,需要设计一种阻挡机构,用来对料架的传输过程进行控制,使其在传送带仍在运转的条件下,能够将目标料架稳定、准确地阻挡住。并且,应保证当阻挡解除后,该料架仍能按照既定路线平稳运行。
发明内容
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造