[发明专利]一种环保型酸性化学抛光液及化学抛光方法

权利要求书

1.一种环保型酸性化学抛光液，其特征在于，以浓硫酸作为溶剂，各个组分的浓度如下：

过硫酸铵         13～21 g/L；

硅酸铝镁         2～5 g/L。

2.根据权利要求1所述的一种环保型酸性化学抛光液，其特征在于，以浓硫酸作为溶剂，还包括以下组分：

稀土盐          0.5～1.0 g/L；

缓蚀剂          1～2.5 g/L；

表面活性剂      0.5～1.0 g/L；

光亮剂          0.5～2.5g/L。

3.根据权利要求2所述的一种环保型酸性化学抛光液，其特征在于：所述缓蚀剂为硼酸、六次甲基次胺、油酸二乙醇胺、硅酸钠、咪唑、烷基苯磺酸钠、三乙醇胺、苯骈三氮唑中的一种或几种。

4.根据权利要求2所述的一种环保型酸性化学抛光液，其特征在于：所述稀土盐为硫酸高铈或者硝酸铈。

5.根据权利要求2所述的一种环保型酸性化学抛光液，其特征在于：所述表面活性剂为十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠中的一种或者数种。

6.根据权利要求2所述的一种环保型酸性化学抛光液，其特征在于：所述光亮剂为糖精。

7.一种化学抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，将经过预处理的工件放入浸入温度为90℃～105℃的抛光液中进行抛光；

第二步，4～7 min后取出工件，用蒸馏水冲洗工件表面残留液然后吹干；

所述化学抛光液为权利要求1～6任意一项所述的化学抛光液。