[发明专利]一种溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法

权利要求书

1.一种溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：包括下列步骤：

1)开坯：取粉末冶金烧结钼板坯，加热至1485～1495℃，以48～52m/min的轧制速度进行二火次六道次热轧，空冷，碱洗，得钼板A；

2)冷轧：取步骤1)所得钼板A，以38～42m/min的轧制速度进行三道次冷轧，退火，得钼板B；

3)平整：取步骤2)所得钼板B，加热至845～855℃，以90～100m/min的轧制速度进行轧制，后进行平整，即得。

2.根据权利要求1所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤1)中，所述二火次六道次热轧是每火次加热至1485～1495℃后进行三道轧制，其中第一火次的三道次轧制沿平行方向轧制，第二火次的三道次轧制沿垂直方向交叉轧制。

3.根据权利要求1或2所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤1)中，所述二火次六道次热轧中，第一道次和第四道次轧制的变形率为35％～40％，第二、第三、第五、第六道次轧制的变形率为25％～30％。

4.根据权利要求1所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤1)中，所述二火次六道次热轧前对钼板坯在氢气气氛下进行预热，所述预热温度为1485～1495℃，预热时间为59～61min。

5.根据权利要求1或4所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤1)中，所述二火次六道次热轧前对所用轧辊进行预热，预热温度为295～305℃。

6.根据权利要求1所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤2)中，所述三道次冷轧前，对步骤1)所得钼板A进行退火处理；所述退火处理是将钼板A加热至895～905℃保温55～65min后，空冷至室温。

7.根据权利要求1或6所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤2)中，所述冷轧过程中，每道次轧制压下的厚度占压下前总厚度的18％～22％。

8.根据权利要求1所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤2)中，冷轧后的退火是在氢气气氛下，加热至895～905℃保温55～65min后，空冷至室温。

9.根据权利要求1所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤3)中，所述轧制的变形率为1％～2％。

10.根据权利要求1所述的溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：步骤3)中，所述平整的速度小于90m/min。