[发明专利]集成电路后端工艺波动检测电路以及检测方法有效
| 申请号： | 201510014939.8 | 申请日： | 2015-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN105842604B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 林殷茵;李慧 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海元一成知识产权代理事务所(普通合伙) 31268 | 代理人： | 吴桂琴 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成电路 后端 工艺 波动 检测 电路 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
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