[发明专利]一种KMPR光刻胶用KOH显影液

权利要求书

1.一种KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述显影液由KOH和去离子水组成，其中KOH的含量为0.01-10wt%。

2.根据权利要求1所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述KOH的含量为0.1-1wt%。

3.根据权利要求1所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述显影液还包括K₂HPO₄，K₂HPO₄的加入量根据以下步骤确定：

1）根据公式pH=14+lgC_KOH计算已选定的具有合适显影时间的KOH显影液的pH值；其中C_KOH为KOH显影液中KOH的摩尔浓度；

2）将步骤1）中计算得到的pH值，带入公式pH=pKa+lg(C_KOH/C_K2HPO4)，得到含有K₂HPO₄的KOH显影液中K₂HPO₄与KOH的浓度比例关系；其中Ka，HPO₄^2-的电离常数；C_KOH，含有K₂HPO₄的KOH显影液中KOH的摩尔浓度；C_K2HPO4，含有K₂HPO₄的KOH显影液中K₂HPO₄的摩尔浓度；

3）结合实际工艺，确定K₂HPO₄的加入量。

4.根据权利要求1-3任一项所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述显影液还包括0.001-1wt%的表面活性剂。

5.根据权利要求4所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述表面活性剂为Tween类、Span类或聚氧乙烯醚类非离子表面活性剂中的一种或一种以上的复配，或任意一种或者多种所述的非离子表面活性剂与任意一种或多种磺酸盐类或硫酸盐类阴离子表面活性剂的复配。

6.根据权利要求5所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述表面活性剂的含量为0.005-0.5wt%。

7.根据权利要求4所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述显影液还包括0.1-1wt%的消泡剂。

8.根据权利要求7所述的KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述消泡剂的含量为0.2-0.7wt%。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的KMPR光刻胶用KOH显影液的应用，其特征在于：所述显影液在22-40℃条件下的显影。