[发明专利]一种混合驱动的MEMS可调谐光学驱动器在审
| 申请号： | 201510018810.4 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104749768A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李四华;王文辉;钟桂雄;李维;施林伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市盛喜路科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B6/26;B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区彩田路西红荔路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 混合 驱动 mems 调谐 光学 驱动器 | ||
【权利要求书】：
1.一种混合驱动MEMS可调光驱动器，其特征在于所述混合驱动可调光驱动器包括磁驱动梁和热驱动梁，所述磁驱动梁和热驱动梁通过驱动连接结构与微镜面连接，根据不同磁场方向和施加的电压，所述磁驱动梁和热驱动梁会产生不同的电磁驱动力和热驱动力从而改变动微镜面的运动方向，所述磁驱动梁和热驱动梁之间用隔离槽（11）进行电隔离和热隔离。
2.根据权利要求1所述的混合驱动MEMS可调光驱动器，其中所述热驱动梁通过施加在驱动电极（3）和驱动电极（4）之间的电压进行热膨胀变形，所述磁驱动梁通过施加在驱动电极（5）和驱动电极（6）之间的电流在磁场作用下变形，所述驱动电极（3）通过电隔离槽（7）与驱动电极（5）隔离，所述驱动电极（4）通过电隔离槽（8）与驱动电极（6）隔离。
3.根据权利要求2所述的混合驱动MEMS可调光驱动器，其中驱动电极（3）和驱动电极（4）之间通过电隔离槽（9）隔离。
4.根据权利要求2或3所述的混合驱动MEMS可调光驱动器，其中驱动电极（5）和驱动电极（6）之间通过电隔离槽（10）隔离。
5.根据权利要求2-4所述的混合驱动MEMS可调光驱动器，其应用领域可包括光学衰减器、光开关器件，也可以是其它光学应用领域。
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