[发明专利]线放电加工机

说明书

技术领域

本发明涉及一种线放电加工机。

背景技术

在线放电加工机中，在向线电极与被加工物的加工间隙施加电压引起放电的同时，使线电极与被加工物的相对位置发生变化，将被加工物加工成希望的形状。关于被加工物的加工结果，根据被加工物的材料、被加工物的厚度等而不同，但在高精度的加工中有时需要数微米的精度。

在需要高精度的加工结果时，在第一次的加工结束后，变更偏置对相同的加工形状进行多次加工。根据已加工产品的表面粗糙度、形状精度等需要的加工结果来决定加工次数。在此，将第一次的加工称为粗加工，将第二次及其以后的加工称为精加工。

首先，对粗加工进行说明。

图9表示线放电加工机的加工用电源的脉冲生成电路的例子。1是加工用电源。通过交互地接通断开副电源2内的开关元件3、4、5、6，在线电极10与被加工物11之间施加交流的脉冲电压。在通过脉冲电压使线电极10与被加工物11之间绝缘击穿后，通过主电源7施加电流脉冲。在此，8、9是开关电源。

接着，对精加工进行说明。

在精加工中，不需要大的加工能量，因此仅通过副电源2进行加工。在线电极10与被加工物11之间施加交流的脉冲电压来进行加工。根据已加工产品的表面粗糙度、形状精度等所需要的加工结果来决定施加的脉冲电压的电压值、脉冲幅度以及频率。

在上述的现有方法中，在进行精加工，尤其在进行第二次加工时，加工能量的大小成为问题。在第一次加工结束的时刻，没有完成对已加工产品的表面粗糙度以及形状精度的高精度的加工。另一方面，在第二次的加工中，仅通过副电源2施加交流脉冲电压，因此有时加工能量不足。

对此，考虑与第一次的加工同样地进行第二次的加工的方法，但实际上即使想按照第一次的脉冲生成方法将加工能量变小也无法进行稳定的加工。这是由于作为开关元件使用的MOSFET的响应速度的偏差以及对MOSFET进行接通断开的控制电路的偏差造成的。由于控制电路的元件的偏差，有时无法按意图传达接通断开指令。此外，即使接通断开指令稳定，在开关元件中还存在针对指令的应答的偏差，因此即使在每个开关元件中，对于相同的指令接通断开时间也有可能发生变化。

因此，在现有方法中，在进行精加工等第二次加工时，有时加工能量不足，并且，不存在稳定地供给恰当的加工能量的方法。

如上所述，在线放电加工机中，在线电极与被加工物的加工间隙施加电压引起放电的同时，使线电极与被加工物的相对位置发生变化，将被加工物加工成希望的形状。对于被加工物的加工结果，根据被加工物的材料、被加工物的厚度等而不同，但在高精度加工中有时需要数微米的精度。

在线放电加工机的加工中，当对希望的加工形状进行加工时，在不需要数微米的高精度的加工结果的情况下，对希望的加工形状仅进行一次加工，来得到加工结果。另一方面，当需要高精度的加工结果时，在第一次的加工结束后，变更偏置对相同的加工形状进行多次加工。一般，根据已加工产品的表面粗糙度、形状精度等需要的加工结果来决定加工次数。

在此，将第一次的加工称为粗加工，将第二次及其以后的加工称为精加工。首先，对粗加工进行说明。

图9表示线放电加工机的加工用电源的脉冲生成电路的例子。通过交互地接通断开副电源2内的开关元件，在线电极10与被加工物11之间施加交流的脉冲电压。在通过脉冲电压使线电极10与被加工物11之间绝缘击穿后，通过主电源7施加电流脉冲。

粗加工对没有进行任何加工的无垢的工件进行加工，因此为了进行加工需要大的能量。严格地说，虽然可以仅通过副电源2进行加工，但如日本特开2004-195562号公报那样，为了提高加工效率一般采用主电源7和副电源2的结构。

接着，对精加工进行说明。

在精加工中，不需要大的加工能量，因此仅通过副电源2进行加工。在线电极10与被加工物11之间施加交流的脉冲电压来进行加工。根据已加工产品的表面粗糙度、形状精度等所需要的加工结果来决定施加的脉冲电压的电压值、脉冲幅度以及频率。

在通过精加工进行多次高精度的加工时，一般在每次追加加工次数时使加工能量变小来进行加工。使精加工等第二次加工的能量小于粗加工等第一次的加工能量，使精加工等第三次加工的能量小于第二次的加工的能量，来进行加工。在日本特开2010-194693号公报中公开了用于进行高精度的精加工的技术。

在此，对粗加工等第一次加工结束，进行精加工等第二次加工时的现有技术的问题点进行说明。作为其前提，对图9中的用于生成脉冲的开关元件进行说明。