[发明专利]基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台

权利要求书

1.基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：包括底座和设置于底座上的一对X轴向振动台，一对Y轴向振动台，一个Z轴向振动台和三维振动平台，两个X轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，两个Y轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，X轴向振动台与Y轴向振动台的运动方向正交；每个振动台分别通过各自的运动解耦装置与三维振动平台连接，运动解耦装置一端与对应的振动台固定连接，另一端与三维振动平台之间具有能够形成气膜的间隙；两个X轴向振动台的振动方向和振动频率相同；两个Y轴向振动台的振动方向和振动频率相同；Z轴向运动解耦装置包括基体和气浮板，基体中有气浮腔，气浮板放置于气浮腔中并与气浮腔间隙配合；气浮板上固定有连接杆，连接杆与三维振动平台固定；气浮板上均匀分布有形成气浮板上表面的上气膜的上节流气孔和形成气浮板下表面的下气膜的下节流气孔；气浮板上设有与气源连通的供气通道，基体上设有气源接口。

2.如权利要求1所述的基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：X轴向运动解耦装置和Y轴向运动解耦装置分别包括各自的气浮导轨，均匀分布于气浮导轨上的节流气孔和设置于气浮导轨中、连通节流气孔与气源的气流通道。

3.如权利要求2所述的基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：X轴向运动解耦装置和Y轴向运动解耦装置的气流通道由多个与气源连通的进气道和连通各个进气道的连通气道组成，节流气孔沿进气道阵列分布；进气道和连通气道分别由开设于气浮导轨上的通孔和设置于通孔一端的堵头组成，进气道一端设置堵头，另一端为与气源连接的进气接口；连通气道两端均设置堵头。

4.如权利要求3所述的基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：Z轴向运动解耦装置的基体由下连接板、 上盖板和垫圈组成，下连接板与Z轴向振动台固定；下连接板,上盖板和垫圈围成气浮腔，上盖板具有允许连接杆穿过并与连接杆间隙配合的通孔，气源接口开设于垫圈上，气源接口对准供气通道的进气口。

5.如权利要求4所述的基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：上盖板与垫圈一体。

6.如权利要求5所述的基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：气浮板的供气通道由交叉的纵向气道和横向气道组成，纵向气道沿气浮板纵向均匀分布，横向气道沿气浮板横向均匀分布；上节流气孔围成第一气孔圈，下节流气孔围成第二气孔圈，第一气孔圈、第二气孔圈和气浮板同轴；至少一个横向气道或者纵向气道设置气源接口。