[发明专利]失效点的定位方法及芯片的失效分析方法有效
| 申请号： | 201510020474.7 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105842264B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 殷原梓 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 失效 定位 方法 芯片 分析 | ||
【权利要求书】：
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