[发明专利]单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达及制备方法

权利要求书

1.一种单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达，包括致动单元和滑杆（5），其特征在于：所述致动单元由冷热臂电热致动器（8a、8b）、驱动杆（4a、4b）和驱动头（3a、3b）组成；冷热臂电热致动器（8a、8b）的一端通过锚点（7a、7b，7c、7d）固定在硅衬底上，另一端与驱动杆（4a、4b）相连，驱动杆（4a、4b）的端部为方形驱动头（3a、3b），驱动头（3a、3b）与滑杆（5）之间有间隙，所述滑杆（5）为浮动杆，由两个纵向约束罩（1a、1b）约束，纵向约束罩（1a、1b）通过锚点（2a、2b，6a、6b）固定在硅衬底上，所述冷热臂电热致动器（8a、8b）的锚点（7a、7b，7c、7d）同时也是微马达的供电电极。

2.根据权利要求1所述的单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达，其特征在于：所述致动单元中的冷热臂电热致动器使用V型电热致动器、静电梳齿致动器、电磁致动器或压电制动器代替。

3.根据权利要求1所述的单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达，其特征在于：所述致动单元仅在滑杆（5）的单侧布置一个。

4.根据权利要求1所述的单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达，其特征在于：所述滑杆（5）的两个纵向约束罩（1a、1b）为用“Π”型约束罩布置在滑杆（5）的左右两端，或用“T”型约束罩布置在滑杆（5）的中部，所述滑杆（5）是阶梯轴，或由两根细长杆在末端连接构成。

5.根据权利要求1所述的单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达，其特征在于：所述驱动杆（4a、4b）的长度和宽度能够调节，驱动头（3a、3b）的形状为方形头、三角头、梯形头或圆形头。

6.一种单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达的制备方法，其特征在于：采用MEMS表面工艺制备，在硅衬底平面上，有氮化硅绝缘层，氮化硅绝缘层上有固定的用作导线的多晶硅层Poly0，在多晶硅层Poly0上有固定结构层Poly2构成的纵向约束罩（1），在多晶硅层Poly0上还有活动结构层Poly1构成的滑杆（5）和致动单元。