[发明专利]真空阀体

说明书

技术领域

本发明涉及一种阀体，尤其是涉及一种真空阀体。

背景技术

在半导体、新能源装备【如太阳能】等领域中需大量采用真空阀体，这些真空阀体包括上侧板、下侧板、左封板、右封板和若干与左右封板平行的筋板，筋板间隔设置在左、右封板之间，左、右封板和各筋板的上、下端分别和上、下侧板焊连，左、右封板和各筋板的前、后端分别和上、下侧板的前、后端齐平；上、下侧板在相邻的两个筋板之间、最左侧的筋板和左封板之间及最右侧的筋板和右封板之间设有矩形通孔，上、下侧板和左、右封板围成的空间通过所述矩形通孔和第一真空室、第二真空室连通。其中第一真空室、第二真空室设有可以密封或打开上、下侧板上的矩形通孔的通孔阀板组件，通孔阀板组件包括通孔阀板本体和固定在通孔阀板本体上的密封圈；真空阀体的前端、后端或前后端同时设有可以密封或打开上、下侧板和左、右封板围成的空间而使该空间和大气相隔离或连通的阀体阀板组件，所述阀体阀板组件包括阀体阀板本体和固定在阀体阀板本体上的密封圈：

1】当前、后阀体阀板组件闭合，而第一、第二真空室内的通孔阀板组件开启时，第一真空室和第二真空室相通，第一真空室、第二真空室与上、下侧板和左、右封板围成的空间三者保持相同状态。依此可以在第一真空室和第二真空室之间实现物料输送等功能；

2】当全部阀板组件闭合时，第一真空室和第二真空室处于相互独立的工作状态。

这些真空阀体的体积大、精度要求高，并大多采用不锈钢材料制成。由于不锈钢材料昂贵、焊接及机械加工难度和加工费用高；对不锈钢作为阀体材料的真空阀体来说，减少材料的加工预留量也具有重要的经济价值。由于目前广泛采用的真空阀体的上、下侧板与左、右封板及各筋板都是采用焊接结构相连，而焊接容易产生大量的形变，因此必须留有相当大的加工预留量以利焊接后的进一步精加工来保证高精度要求。因此这些真空阀体存在加工制造难度大、材料消耗大，从而加工制造成本高的问题。

发明内容

本发明的主要发明目的是提供一种加工制造难度低、材料消耗少，从而加工制造成本低的真空阀体。

本发明所用的技术方案是：一种真空阀体，包括上侧板、下侧板、左封板、右封板和若干与左、右封板平行的筋板，筋板间隔设置在左、右封板之间，左、右封板和各筋板的上、下端分别和上、下侧板固连，左、右封板及各筋板的前、后端分别和上、下侧板的前、后端齐平；上、下侧板在相邻的两个筋板之间、最左侧的筋板和左封板之间及最右侧的封板和右封板之间设有矩形通孔，上、下侧板和左、右封板围成的空间通过所述矩形通孔分别和第一真空室、第二真空室连通，各筋板上设有若干上下走向的矩形槽孔，筋板的上、下端通过穿过矩形槽孔的上、下槽面的螺钉和上、下侧板螺钉连接。

本发明，所述筋板和上下侧板之间采用螺钉连接，可以大大减少真空阀体的加工制造难度和加工预留量，从而减少制造真空阀体的难度和材料消耗，进而降低真空阀体的加工制造成本。

作为优选，筋板的上、下端的前、后端的矩形槽孔通过一颗螺钉和上、下侧板螺钉连接，筋板的上、下端的前、后端之间的其它槽孔通过两颗螺钉和上、下侧板螺钉连接。在改变上下侧板和左右封板围成的空间状态时，筋板的中部受力比较大，同时由于侧板的厚度问题，又不能采用过大直径的螺钉。本优选方案，可以增加筋板和上下侧板连接的可靠性，同时减少加工量。

作为优选，上、下侧板的左端伸在左封板的左侧面之外或上、下侧板的右端伸在右封板的右侧面之外；相应地左封板的左侧面或右封板的右侧面设有两根、三根或四根用于吊装所述真空阀体的螺杆。本优选方案，其中螺杆与左、右封板采用焊接结构相连，要吊装真空阀体时，只要把真空阀体侧立起来，把吊具上的螺母旋入螺杆上就可以，其中采用三根或四根螺杆的结构，可以提高吊装结构的可靠性，防止采用两根螺杆结构时因一根螺杆和封板的焊接出现松脱而无法进行吊装的问题。

作为优选，上、下侧板的左端伸在左封板的左侧面之外，同时上、下侧板的右端伸在右封板的右侧面之外；相应地左封板的左侧面和右封板的右侧面设有两根、三根或四根用于吊装所述真空阀体的螺杆。本优选方案，在把左右封板和上下侧板焊接起来时，上下侧板的左右端伸出的部分可以用支撑架支撑开来，焊接好后再把支撑架拆掉，这样可以防止或减小焊接变形，同时焊接后还可以不用把伸出部分切割掉，有利于减少加工量。而左右封板同时设置有用于吊装真空阀体的螺杆的结构，在需要吊装真空阀体时可以依据需要把真空阀体侧立起来吊装，也可以不用侧立起来进行吊装，真空阀体的吊装容易进行。