[发明专利]声响转换器

说明书

本发明提供一种能够抑制即使中止电压施加也无法消除吸引状态这样的现象的产生的声响转换器。声响转换器(10)具备：具有固定电极(23)的背板(20)；经由空隙与背板(20)相对的作为可动电极的隔膜(13)；从背板(20)的空隙侧的面突出的多个止挡部(24a、25)，各止挡部包括与固定电极(23)电绝缘的、通过隔膜(13)的变形而可与隔膜(13)的表面接触的导电性部(25)。

技术领域

本发明涉及声响转换器。

背景技术

众所周知，利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术制造小型的电容式声响转换器(例如，参照专利文献1～3)。

以下，使用图15说明现有的一般的声响转换器的构成。

如图所示，声响转换器具有使作为可动电极的隔膜60和在由绝缘性材料构成的板部71设有固定电极72的背板70经由空隙而相对的构成。

在背板70上设有用于使声响振动通过的多个声孔75。另外，在背板70上设有从板部71以贯通固定电极72的方式突出的、由与板部71相同的材料构成的多个挡块74。

挡块74是在声响转换器的制造时及使用时，为了不使隔膜60粘固在背板70(固定电极72)上而设置的部件。

更具体地，在为了制造声响转换器而进行的牺牲层蚀刻后的清洗工序中，水分浸入隔膜60与固定电极72之间的空隙。另外，在声响转换器的使用中，有时湿气或湿水产生的水分也会浸人隔膜60与固定电极72之间的空隙。而且，声响转换器的隔膜60与固定电极72之间的间隔为数μm左右，因隔膜60较薄(通常1μm左右)，因此弹性力(复原力)较弱。因此，如果在空隙中浸入水分，则因浸入的水分的毛细管力或表面张力等而使隔膜60吸附在固定电极72上，即使在水分蒸发后，有时也因作用在隔膜60与固定电极72之间的分子间力或表面间力、静电力等而使隔膜60也与固定电极72分离。

另外，在驱动声响转换器时，在固定电极72与隔膜60之间施加电压。在固定电极72和隔膜60间施加电压的状态下，由于来自外部的冲击、风等产生的外力及较大的声压施加在隔膜60上，如果隔膜60产生较大的位移而与固定电极72接触，有时会产生短路，声响转换器就会破损。

如果设有挡块74，则在水分蒸发后，也能够不产生隔膜60不与固定电极72分离的现象(隔膜60粘固在背板70上的现象)、及能够使隔膜60和背板70(固定电极72)不短路。因此，设置有挡块74。

另外，图15所示的声响转换器是基板65、隔膜60、背板70依次排列，挡块74设于背板70侧的构成，但已知有基板65、背板70、隔膜60依次排列的声响转换器、或挡块74设于隔膜60侧的声响转换器。

专利文献1：日本特开2011－239324号公报

专利文献2：美国专利申请公开第2012/0319217号说明书

专利文献3：日本特开2008－301430号公报

如上所述，如果设置挡块74，则在声响转换器的制造时及通常使用时，能够使隔膜60不粘固在背板70上、及能够不使隔膜60和背板70(固定电极72)短路。但是，现有的声响转换器因使用状况的不同，有时隔膜60会粘固在背板70上。

具体地，如已说明的那样，声响转换器在隔膜60与背板70(固定电极72)之间施加电压而使用。因此，由于某种冲击施加在隔膜60上，隔膜60和背板70间的距离变小，作为其结果，如果隔膜60和背板70间的静电引力高于隔膜60的弹力(复原力)，则形成隔膜60因静电引力而贴附在背板70上的状态(以下，表述为吸引状态)。