[发明专利]倒装芯片电路装置和用于制造倒装芯片电路装置的方法在审
申请号: | 201510028617.9 | 申请日: | 2015-01-20 |
公开(公告)号: | CN104810337A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | M·齐默尔曼;U·塞格 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/498;H01L21/60;H01L21/603 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装 芯片 电路 装置 用于 制造 方法 | ||
1.一种倒装芯片电路装置(3),其至少具有:
具有第一表面(6)和构造在所述第一表面(6)中的至少一个凹槽结构(7)的电路载体(1),所述至少一个凹槽结构具有下盖面(7.2),其中,在所述凹槽结构(7)中构造有接通面(8.1,8.2,8.3,8.4),
装配在所述电路载体(1)上的、具有至少一个接触位置(5)的半导体构件(2),接触单元(9.1,9.2,9.3,9.4)施加在所述至少一个接触位置上,
其中,所述接触单元(9.1,9.2,9.3,9.4)贴靠所述接通面(8.1,8.2,8.3,8.4)以便构造电连接,
其特征在于,
所述接通面(8.1,8.2,8.3,8.4)至少部分地构造在所述凹槽结构(7)的壳面(7.1)上,其中,所述壳面(7.1)构造在所述第一表面(6)和所述凹槽结构(7)的下盖面(7.2)之间。
2.根据权利要求1所述的倒装芯片电路装置(3),其特征在于,所述壳面(7.1)直接从所述第一表面(6)出发。
3.根据权利要求2所述的倒装芯片电路装置(3),其特征在于,所述壳面(7.1)从所述第一表面(6)出发朝所述盖面(7.2)逐渐缩细。
4.根据权利要求3所述的倒装芯片电路装置(3),其特征在于,所述壳面(7.1)相对于所述第一表面(6)倾斜或者成阶梯形以便构成金字塔形、漏斗形或梯级形的凹槽结构(7)。
5.根据以上权利要求中任一项所述的倒装芯片电路装置(3),其特征在于,在所述电路载体(1)的所述第一表面(6)和所述半导体构件(2)的第二表面(4)之间设置有粘接剂(14),以便在所述电路载体(1)和所述半导体构件(2)之间构成机械连接。
6.根据以上权利要求中任一项所述的倒装芯片电路装置(3),其特征在于,所述接触单元(9.1,9.2,9.3,9.4)在所述接通面(8.1,8.2,8.3,8.4)的区域中至少部分地位于所述第一表面(6)之下并且伸入到所述电路载体(1)中。
7.根据以上权利要求中任一项所述的倒装芯片电路装置(3),其特征在于,所述第一表面(6)优选在注塑的电路载体(1)中三维地延伸。
8.一种用于制造倒装芯片电路装置(3)的方法,其具有至少以下的步骤:
制造或提供具有第一表面(6)的电路载体(1)以及具有构造在其上的至少一个接触位置(5)的半导体构件(2)(St0),
构造至少一个从所述第一表面(6)出发伸入到所述电路载体(1)中的、具有相对于所述第一表面(6)逐渐缩细的壳面(7.1)的凹槽结构(7)(St1),
施加接通面(8.1,8.2,8.3,8.4)到所述至少一个壳面(7.1)上(St2),
施加与所述接通面(8.1,8.2,8.3,8.4)对应的接触单元(9.1,9.2,9.3,9.4)到所述接触位置(6)上(St2.1),
挤压所述半导体构件(2)与所述电路载体(1),以便在所述接通面(8.1,8.2,8.3,8.4)和所述接触单元(9.1,9.2,9.3,9.4)之间构造电连接(St3),
施加粘结剂(14)并使之硬化,以便在所述半导体构件(2)和所述电路载体(1)之间建立机械连接(St4)。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,通过球形键合施加所述接触单元(9.1,9.2,9.3,9.4)以便构成钉头凸点。
10.根据权利要求8或9所述的方法,其特征在于,已经在制造所述电路载体(1)时构造所述凹槽结构(7),例如借助于相应的注塑工具。
11.根据权利要求8或9所述的方法,其特征在于,通过材料侵蚀——例如通过激光烧蚀构造所述凹槽结构(7)。
12.根据权利要求8或9所述的方法,其特征在于,通过改型、例如借助于压印凸模制造所述凹槽结构(7)。
13.根据权利要求8至12中任一项所述的方法,其特征在于,径向对称地——例如金字塔形地、漏斗形地或者梯级形地构造所述凹槽结构(7),并且所述壳面(7.1)朝盖面(7.2)逐渐缩细。
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