[发明专利]激光输出装置及其蓝宝石挖槽方法

权利要求书

1.一种激光输出装置，其特征在于，包括激光器及光路组件，所述激光器用于产生激光；所述光路组件包括：

反射镜，用于反射所述激光器产生的激光；及

四分之一波片，用于将所述激光器产生的激光转变成圆偏振激光。

2.根据权利要求1所述的激光输出装置，其特征在于，还包括检测组件，用于检测经过所述四分之一波片的激光是否是圆偏振激光，所述检测组件包括二分之一波片、偏振片、第一功率计及第二功率计；经过所述四分之一波片的激光依次经过所述二分之一波片及偏振片，激光分为互成90度夹角的第一分量及第二分量，第一功率计及第二功率计分别用于测量第一分量及第二分量的功率。

3.根据权利要求1所述的激光输出装置，其特征在于，还包括用于控制所述圆偏振激光的激光振镜。

4.根据权利要求1所述的激光输出装置，其特征在于，还包括用于聚焦所述激圆偏振激光的激光聚焦镜。

5.根据权利要求1所述的激光输出装置，其特征在于，所述激光器产生的激光的波长范围为355～1064nm，激光的偏振态为线偏振，偏振比大于50:1。

6.一种蓝宝石挖槽方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供权利要求1所述的激光输出装置；

将蓝宝石样片放置于工作台上，所述激光器产生激光，所述激光经过所述四分之一波片转变成圆偏振激光，所述圆偏振激光经所述反射镜反射后射至所述蓝宝石样片上进行挖槽加工。

7.根据权利要求6所述的蓝宝石挖槽方法，其特征在于，所述激光输出装置还包括检测组件，所述检测组件包括二分之一波片、偏振片、第一功率计及第二功率计；

所述蓝宝石挖槽方法还包括对所述圆偏振激光进行检测的步骤，所述对所述圆偏振激光进行检测的步骤具体为：

经过所述四分之一波片的激光依次经过所述二分之一波片及偏振片，激光分为互成90度夹角的第一分量及第二分量；

所述第一功率计及所述第二功率计分别测量所述第一分量及所述第二分量的功率，转动所述二分之一波片，并比较所述第一分量的功率与所述第二分量的功率的大小，若转动所述二分之一波片前后所述第一分量的功率与所述第二分量的功率都相等，则经过所述四分之一波片的激光为圆偏振激光。