[发明专利]外延片磨边设备

权利要求书

1.一种外延片磨边设备，所述外延片磨边设备包括：

承载外延片的承载装置，所述承载装置具有旋转电机和吸盘，所述吸盘通过所述旋转电机的驱动而作旋转运动，所述外延片保持在所述吸盘上随所述吸盘转动；

进行磨边操作的磨削装置；以及

控制磨削装置升降的升降装置；

其特征在于，所述磨削装置包括砂轮、驱动砂轮旋转的主轴电机以及支承所述主轴电机的壳体，所述主轴电机可枢转地并且通过弹簧施力机构连接到所述壳体，其中所述弹簧施力机构提供砂轮相对外延片的压紧力，在磨边操作过程中，所述砂轮压靠在置于所述吸盘上的外延片的边缘上，所述主轴电机的转动轴线与承载装置的所述旋转电机的转动轴线彼此倾斜形成一角度，所述角度在磨边操作过程中随着所述主轴电机相对于所述壳体的枢转而变化。

2.如权利要求1所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述主轴电机安装到电机固定板，所述电机固定板在一侧通过转轴枢转连接到所述壳体。

3.如权利要求1所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述弹簧施力机构包括提供砂轮压靠在所述外延片的边缘上的压紧力的调节拉簧，所述调节拉簧连接在所述主轴电机和所述壳体之间，随着主轴电机相对壳体的转动，所述调节拉簧对所述主轴电机施力。

4.如权利要求3所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述主轴电机安装到电机固定板，所述电机固定板在一侧通过转轴枢转连接到所述壳体，

所述调节拉簧的一端通过固定到所述电机固定板的与所述一侧相对的另一侧而连接到所述主轴电机，所述调节拉簧的另一端通过调节螺杆连接到所述壳体。

5.如权利要求1所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述吸盘设置为圆形，所述吸盘的半径小于放置于所述吸盘上的外延片的定位边到圆心的距离。

6.如权利要求1所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述承载装置的所述旋转电机通过安装座安装在所述外延片磨边设备的基板的下侧。

7.如权利要求1所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述磨削装置通过安装架连接到升降装置，所述壳体可枢转调节地连接到所述安装架上。

8.如权利要求7所述的外延片磨边设备，其特征在于，所述安装架包括沿水平方向滑动的滑台，所述滑台设置有垂直支架和水平支架，所述壳体一端通过销轴可转枢转地安装在水平支架上，所述壳体的另一端与所述垂直支架相连。

9.如权利要求1所述的外延片磨边设备，其特征在于，在磨边操作开始之前，所述砂轮布置在所述吸盘上的外延片的上方，与外延片隔开一定距离，此时，所述主轴电机的转动轴线和所述旋转电机的转动轴线之间形成角度а，在磨边操作过程中，所述砂轮压靠在所述外延片的边缘上，所述吸盘和砂轮的转动轴线之间形成角度β，角度β大于等于角度а。