[发明专利]致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法

权利要求书

1.一种致动器控制装置，其特征在于，具备：

致动器，通过被施加驱动电压而驱动；

检测单元，检测所述致动器的驱动量；

反馈控制部，根据由所述检测单元检测到的所述驱动量，控制向所述致动器施加的驱动电压；以及

增益设定单元，根据基于由所述检测单元检测的所述驱动量的所述致动器的驱动特性，设定所述反馈控制部中的增益。

2.根据权利要求1所述的致动器控制装置，其特征在于，还具备：

第一部件以及与所述第一部件相对的第二部件，

所述致动器是具备设于所述第一部件的第一电极以及设于所述第二部件并与所述第一电极相对的第二电极的静电致动器，

所述检测单元检测所述第一部件与所述第二部件间的间隙尺寸作为所述驱动量。

3.根据权利要求1或2所述的致动器控制装置，其特征在于，

所述增益设定单元基于未对所述致动器施加驱动电压的初始状态下的所述驱动量设定所述增益。

4.根据权利要求1或2所述的致动器控制装置，其特征在于，

所述增益设定单元取得多组对所述致动器施加的驱动电压、及施加该驱动电压时由所述检测单元检测到的所述驱动量的组合，并基于这些组合设定所述增益。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的致动器控制装置，其特征在于，

所述反馈控制部具有控制器，所述控制器基于由所述检测单元检测到的所述驱动量和所述致动器的驱动量的目标值控制对所述致动器施加的驱动电压，

所述增益设定单元设定所述控制器的增益。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的致动器控制装置，其特征在于，

所述致动器具有能彼此独立地驱动的第一致动器和第二致动器，

所述反馈控制部具备：偏置电压施加单元，对所述第一致动器施加规定的偏置电压；以及控制器，基于由所述检测单元检测到的所述驱动量以及所述致动器的驱动量的目标值控制对所述第二致动器施加的驱动电压，

所述增益设定单元设定所述偏置电压施加单元中的偏置电压。

7.一种光学模块，其特征在于，具备：

彼此相对的一对反射膜；

致动器，通过被施加驱动电压而改变所述一对反射膜间的间隙尺寸；

检测单元，检测所述一对反射膜间的间隙尺寸；

反馈控制部，根据由所述检测单元检测到的所述间隙尺寸，控制向所述致动器施加的驱动电压；以及

增益设定单元，根据基于由所述检测单元检测的所述间隙尺寸的所述致动器的驱动特性，设定所述反馈控制部中的增益。

8.一种电子设备，其特征在于，具备：

致动器，通过被施加驱动电压而驱动；

检测单元，检测所述致动器的驱动量；

反馈控制部，根据由所述检测单元检测到的所述驱动量，控制向所述致动器施加的驱动电压；

增益设定单元，根据基于由所述检测单元检测的所述驱动量的所述致动器的驱动特性，设定所述反馈控制部中的增益；以及

处理部，通过所述致动器的驱动，实施规定的处理。

9.一种致动器控制方法，其特征在于，是致动器控制装置的致动器控制方法，

所述致动器控制装置具备：致动器，通过被施加驱动电压而驱动；检测单元，检测所述致动器的驱动量；以及反馈控制部，根据由所述检测单元检测到的所述驱动量，控制向所述致动器施加的驱动电压，

在所述致动器控制方法中，基于由所述检测单元检测的所述驱动量，取得所述致动器的驱动特性，基于取得的所述驱动特性，设定所述反馈控制部中的增益，并以设定的所述增益向所述致动器施加所述驱动电压。