[发明专利]检测底片误差的方法及其系统有效
| 申请号： | 201510040461.6 | 申请日： | 2015-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN105988293B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 徐嘉伟;王啓毓 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 底片 误差 方法 及其 系统 | ||
【权利要求书】：
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