[发明专利]刻划头以及刻划装置

权利要求书

1.一种刻划头，其特征在于包含：

机构部，一端具有刀具保持器，并且使该刀具保持器升降；

壁部，将供所述机构部配置的空间划分为封闭空间；以及

供气口，设置在所述壁部，用以对所述封闭空间供给气体；并且

所述壁部包含：

基座板；

顶板，以连接于所述基座板的方式设置；

底板，以连接于所述基座板的方式设置，与所述顶板隔开特定间隔而对向；以及

外壳，分别抵接于所述顶板、所述底板及所述基座板而形成所述封闭空间；并且

在所述顶板与底板之间设置所述机构部，

在所述外壳设置有所述供气口。

2.根据权利要求1所述的刻划头，其特征在于：

在所述外壳与所述顶板相互抵接的抵接部、及所述外壳与所述底板相互抵接的抵接部中的至少靠近所述刀具保持器一方的抵接部，设置有用以提高所述封闭空间的气密性的密封构件。

3.根据权利要求1或2所述的刻划头，其特征在于：

在所述外壳与所述基座板相互抵接的抵接部，设置有用以提高所述封闭空间的气密性的密封构件。

4.根据权利要求1所述的刻划头，其特征在于：

所述供气口配置在从所述壁部的所述机构部的升降方向的中央偏向靠近所述刀具保持器一侧的位置。

5.一种刻划装置，其包含：

根据权利要求1至4中任一项所述的刻划头；

支撑部，支撑切断对象的基板；

移动机构，使所述刻划头相对于由所述支撑部支撑的所述基板移动；以及

正压源，连接于所述供气口，对所述封闭空间供给气体。