[发明专利]一种耗尽型MOS管的制造方法及器件在审
申请号: | 201510041423.2 | 申请日: | 2015-01-27 |
公开(公告)号: | CN105990399A | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 赵圣哲;马万里 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/336 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 耗尽 mos 制造 方法 器件 | ||
【权利要求书】:
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