[发明专利]一种光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器及气体测量方法

权利要求书

1.一种光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器，其特征在于所述传感器由半导体激光源、前单模光纤、锥形光纤、石英音叉、后单模光纤构成，所述半导体激光源、前单模光纤、锥形光纤、后单模光纤沿光束传播方向依次设置，锥形光纤穿过石英音叉的叉股。

2.根据权利要求1所述的光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器，其特征在于所述锥形光纤束腰直径小于10μm，束腰长度1~10mm。

3.根据权利要求1所述的光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器，其特征在于所述石英音叉的叉股间隙不大于300μm。

4.根据权利要求1所述的光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器，其特征在于所述锥形光纤距离石英音叉的顶部距离为0.1~1mm。

5.根据权利要求1、3或4所述的光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器，其特征在于所述石英音叉的共振频率不大于100kHz。

6.根据权利要求5所述的光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器，其特征在于所述石英音叉的Q值大于5000。

7.一种利用权利要求1所述的光纤倏逝波型石英增强光声光谱传感器实现微量气体传感测量的方法，其特征在于所述方法步骤如下：

步骤一、半导体激光源发射出的激光经前单模光纤传输至锥形光纤处，产生倏逝波场；

步骤二、待测目标气体吸收倏逝波场能量，产生声波场，石英音叉探测声波信号，反演气体浓度。