[发明专利]利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法

权利要求书

1.一种利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）对探针卡通道分组，将探针卡通道分为m组，每组探针卡通道包括n个工作通道，每个工作通道传输一个指令，其中m为≥2的正整数，n为≥2的正整数；每组探针卡通道内的相邻工作通道之间为邻行隔列的排列方式，所述邻行隔列是指两个相邻信号通道为邻行且间隔一列；相邻的两组探针卡通道之间，后一组探针卡通道的工作通道比前一组探针卡通道的工作通道后移一列；

（2）分时发送指令，对第1组探针卡通道内的n个工作通道发送指令，第1组探针卡通道的指令发送完毕后，间隔一段时间t1后，再对第2组探针卡通道的n个工作通道发送指令，第2组探针卡通道的指令发送完毕后，间隔一段时间t1后，再对第3组探针卡通道的n个工作通道发送指令，以此类推，直至对第m组探针卡通道的n个工作通道发送指令完毕；所述每组探针卡通道内的n个工作通道同时接收、传输和返回指令；

（3）将探针卡测得芯片的信息保存记录下来并作后续处理。

2.根据权利要求1所述的利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，其特征在于，设对每组探针卡通道的n个工作通道发送指令所需时间为t2，设每组探针卡通道的n个工作通道从发送到接收指令所需时间为t3，所述t3＞t2＞t1。

3.根据权利要求2所述的利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，其特征在于，m（t2+t1）＜t3-t2。

4.根据权利要求1或2或3所述的利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，其特征在于，所述每组探针卡通道包括两行且两行的通道数和排列方式相同。

5.根据权利要求4所述的利用多通道探针卡对高频芯片晶圆测试的方法，其特征在于，所述m=4，n=4。