[发明专利]一种大尺寸钼铌靶材的制备方法

权利要求书

1.一种大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，按照下述步骤完成：

1）把钼粉和铌粉按照重量比1:2~2:1加入球磨机中球磨混合；所述球磨机内衬及磨球采用铌碳硬质合金；

2）继续添加钼粉，使钼粉和铌粉的重量比达到9:1，然后在V型混料机中进行混合；

3）将混合好的钼粉和铌粉冷等静压成型，得钼铌坯；

4）将钼铌坯进行高温烧结；

5）烧结后的钼铌坯包裹不锈钢包套，抽气体密封处理，加热至1300℃~1400℃进行轧制，然后900℃真空热处理3h，最后机加工为钼铌靶材产品；

所采用的钼粉平均粒度为1μm~5μm，所采用的铌粉平均粒度为30μm ~100μm。

2.根据权利要求1所述的大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）所述球磨机为滚筒式、搅拌式、振动式或者行星式。

3.根据权利要求1所述的大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）所述球磨时间4h~20h。

4.根据权利要求1所述的大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，步骤2）所述在V型混料机中进行混合的时间为30min~100min。

5.根据权利要求1所述的大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，步骤3）所述冷等静压成型压力为170MPa~250MPa。

6.根据权利要求1所述的大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，步骤4）所述真空烧的最高温度为1850℃~2000℃，保温时间20h~35h。